硅烷的危险特性及安全操作
硅烷的危险特性及安全操作
硅烷作为一种提供硅组分的气体源,广泛应用于微电子、光电器件以及高纯度多晶硅生产,潜在应用前景更为广阔.随着硅烷应用领域的扩大,硅烷安全使用和处理已成为首要的问题.通过对硅烷着火的研究和事故分析表明,硅烷的危险特性在于它与氧反应的极强活性:自燃,着火下限低,燃烧能量大.由于硅烷的自燃特性,对它的安全防范,与一般的易燃易爆物质相比,除一些共同点之外,还有显著的不同之处.在操作中必须预防高浓度硅烷与氧接触发生自燃着火.同时还必须防止硅烷泄漏在有限的'空间内与氧混合,形成不稳定爆炸性气团.笔者综合分析和研讨了硅烷着火和爆炸的最新进展和成果,在实践经验和分析典型硅烷事故的基础上,提出了处理和使用硅烷的安全操作要点.
作 者： 沃银花 王勇 姚奎鸿 WO Yin-hua WANG Yong YAO Kui-hong 作者单位： 沃银花,WO Yin-hua(浙江大学材料与化工学院)王勇,姚奎鸿,WANG Yong,YAO Kui-hong(浙江理工大学材料工程中心)
刊 名： 中国安全科学学报 ISTI
