磁悬浮转子微陀螺旋转驱动方式研究
磁悬浮转子微陀螺旋转驱动方式研究
介绍了基于MEMS技术的磁悬浮转子微陀螺的旋转原理,进行了针对旋转力矩的仿真;在此基础上,给出了相应实现方案的指标分析和系统设计.经过实际测试,旋转驱动后,微陀螺可以得到均匀快速的旋转效果,为下一步陀螺效应的研究打下了基础.
作 者: 邵诗逸 黄晓刚 刘武 陈文元 SHAO Shi-yi HUANG Xiao-gang LIU Wu CHEN Wen-yuan 作者单位: 上海交通大学,微纳科学技术研究院,薄膜与微细加工教育部重点实验室,微纳米加工国防实验室,上海,200030 刊 名: 微电子学 ISTIC PKU 英文刊名: MICROELECTRONICS 年,卷(期): 200636(1) 分类号: V241.5 关键词: 磁悬浮转子 微陀螺 文氏桥 移相 正交驱动