旋转载体用硅微机械陀螺的相位研究

旋转载体用硅微机械陀螺的相位研究

介绍了利用旋转栽体自身旋转作为驱动力的硅微机械陀螺的相位提取技术.当陀螺的敏感轴平行于载体偏转平面时,硅摆所受的哥氏力最大,输出为正弦信号的峰值;当它的敏感轴和偏转平面垂直时,输出为正弦信号的零值.因此,以载体的自转信号为基准,通过比较输出信号波峰在输入基准坐标中相位的变化可知敏感轴的方向,进而能够确定旋转平面及栽体在空间中的偏转方向.

作 者： 王领 张金科 张福学 WANG Ling ZHANG Jin-ke ZHANG Fu-xue 作者单

位： 北京信息工程学院传感技术研究中心,北京市传感器重点实验室,北京,100101 刊 名： 微纳电子技术 ISTIC PKU 英文刊名： MICRONANOELECTRONIC TECHNOLOGY 年，卷(期)： 200744(7) 分类号： V241.5 关键词： 旋转载体 硅微机械 陀螺仪 相位