SOG技术及其新进展

SOG技术及其新进展

SOG材料与传统SOI材料一样,拥有许多优良的电学性能,例如SOG电路具有高开关速度、高密度、低压和低功耗等优点.同时由于SOG材料具有突出的光电性能,在太阳能电池和液晶显示器等光电设备中也有着广泛的应用,引起了人们越来越广泛的`关注.本文综述了SOG材料的特点和应用,着重介绍了SOG材料的各种制备方法和新进展.

作 者： 宋华清 石兢 林成鲁 作者单位： 宋华清(中国科学院上海微系统与信息技术研究所,上海,200050;武汉大学物理科学与技术学院,湖北,武汉,430072)

石兢(武汉大学物理科学与技术学院,湖北,武汉,430072)

林成鲁(中国科学院上海微系统与信息技术研究所,上海,200050)

刊 名： 功能材料 ISTIC EI PKU 英文刊名： JOURNAL OF FUNCTION

AL MATERIALS 年，卷(期)： 200334(3) 分类号： O484.1 关键词： SOG SOI 外延层转移 智能剥离